用于光學測量的菲索干涉儀

摘要

 

斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備,它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。

用于光學測量的菲索干涉儀的圖1

 

建模任務

 

用于光學測量的菲索干涉儀的圖2

 

傾斜平面下的觀測條紋

用于光學測量的菲索干涉儀的圖3

 

圓柱面下的觀測條紋

 

用于光學測量的菲索干涉儀的圖4

 

球面下的觀測條紋

 

用于光學測量的菲索干涉儀的圖5

 

VirtualLab Fusion 視窗

 

用于光學測量的菲索干涉儀的圖6

VirtualLab Fusion 流程

設置入射場

 

- 基本光源模型[教程視頻]

定義元件的位置和方向

 

- LPD II: 位置和方向[教程視頻]

正確設置通道的非序列追跡

 

- 非序列追跡的通道設置[用戶案例]

用于光學測量的菲索干涉儀的圖7

    

VirtualLab Fusion 技術

用于光學測量的菲索干涉儀的圖8

 

文件信息

用于光學測量的菲索干涉儀的圖9

 

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